该小组开发的微型风速传感器尺寸约为3mm见方,厚度约为1mm。在3mm见方的芯片上配备了2个传感器,每个传感器的尺寸约为1.5mm×3mm。
中国国际模具网中国国际模具网

下山研究小组在开发mems的同时,还研究昆虫的动作。这是受原东京大学工学系机械情报工学
专业教授三浦宏文曾在该研究室研究昆虫活动的影响。此次传感器的开发目的是将mems
技术应用于昆虫的动作解析中。
中国国际模具网 传感器采用在带电极的soi底板上形成长约0.5mm、厚1μm以下的悬臂梁(悬臂弹簧)压电电阻的构造。压电电阻采用硅半导体,当风吹向悬臂,悬臂产生应变时,这一应变会使电阻发生变化,这样就会得到变形的数值,进而获得风的强度值。悬臂部分的重量仅为0.1μg。
中国国际模具网 传感器的性能方面,已确认可实现此前的目标——测量-2m/s~2m/s的风速。此前曾担心把传感器安装到1秒内上下振动数次的翅膀上,悬臂会因为翅膀的加速度而产生噪音。而此次也把其影响减小到了测定值的3~10%(标准5%),已确认实际应用时没有问题。“传感器的共振(固有)频率为10hz以上,(对于数hz的翅膀振动频率而言)基本不受影响”(山下研究小组发布人员)
中国国际模具网昆虫和mems成为课题之一
中国国际模具网 此次的mems 2008上,除上述成果外,还有几件关于在昆虫研究中应用mems的研究成果发布。尤其引人注目的发布是,在铜花金龟子和蛾的神经上安装电极、类似遥控玩具那样进行操控的技术(均在1月17日)。
中国国际模具网 美国国防部研究机构“国防高级研究计划局(darpa)”07年公布了昆虫的准机器人计划“hybrid insect mems(hi-mems)”。此次关于铜花金龟子和蛾的研究也得到了darpa的援助。
中国国际模具网